主要特點
經過凈化的SF6氣體質量標準:
露點 | <80μL/L |
油份 | <10μL/L |
固態顆粒直徑 | <1μm |
酸性物質 | <0.5μL/L |
分解產物 | <1μL/L(以SO2、H2S、CO、HF的總和計) |
輔助液化回收裝置參數:
壓縮速率 | ≥10Nm³/h |
制冷劑 | R404a |
理論回收能力 | 15min內50kg液態六氟化硫(前級有充足氣源) |
電源 | AC380V±10% 50Hz |
功率 | <6kW |
技術參數
尾氣處理裝置參數:
處理速率 | ≥10Nm³/h |
年泄漏率 | ≤1‰(任意位置檢漏儀小于10ppmv) |
極限真空度 | ≤50pa |
電源 | AC 380V±10% 50Hz |
功率 | <3kW |